“微型真空泵”和“真空发生器”是异曲同工的两种装置。主要区别就是，微型真空泵是用电的，而真空发生器是要用压缩空气产生真空。
在本来就有压缩空气的地方，使用真空发生器获得真空是好的方案，而在没有压缩空气的地方，用微型真空泵获得真空更方便，没有谁会为了获得这点真空而专门采用空压机搭配真空发生器的方案。
微型真空泵,微型气泵,微型负压泵,具有无油、免维护等特点，可广泛用于机械手、芯片吸附装置、印刷机械等工业自动化设备。
微型真空泵与真空吸盘配套用于吸附物品。
上表中的“吸附力”数据是在*没有漏气的情况下(几乎不可能)，泵抽真空后在吸盘每平方厘米的面积上产生的吸附力数值。一般情况下，物品与吸盘之间多少会有漏气。物品与吸盘之间的气密性是影响吸附效果乃至决定成败的关键因素，必须处理好。
吸附力的大小理论上只与泵的真空度和吸盘面积相关，而与泵的流量无关，但在实际使用中与泵的流量参数是相关的。原因如下：因为吸盘与被吸物体之间不可能做到密封，总有一点漏气，在这种情况下，微型真空泵的流量越大，泄漏量所占的比例就越小，越有利于维持较高的真空度，从而得到更大的吸附力。比如，有两台真空度相同的泵，A泵流量为1L/min，B泵流量为20 L/min，同样在0.5 L/min的泄漏情况下，A泵的真空度会降低很多，因为0.5L/min的泄漏对A泵而言占据了流量的50%，太大了。但0.5L/min的泄漏对B泵来说仅占流量的2.5%，不算什么，吸盘仍然可以维持较高的真空度。因此，虽然二者真空度相同，但在实际中，B泵产生的吸附力更大。因此，泵选型时必须同时考虑真空度和流量两个指标，只重视真空度指标是不够的。
关于物体被吸住后的释放问题。泵停机后，物体不一定会立即脱落，因为泵都有一定的保压能力，真空还将继续维持一会儿。要想立即释放，就要在泵和吸盘之间增加一条泄压支路，支路上连接一阀门，打开阀门泄气，消除气路系统的真空，这样才能可靠地释放物体。
虽然微型真空泵是无油的，也不怕抽取潮湿气体，但抽取的气体必须清洁无尘，要求加装过滤器，否则灰尘在泵内累积会导致吸力下降。
